本课程以集成电路中代表性MOS器件和新型显示代表性TFT器件为例，介绍了器件结构及工作原理，高k栅介质的制备及表征，电学参数，聚焦微纳制造技术及关键装备，为学习者了解集成电路和新型显示中器件结构和制备工艺奠定基础。
由国家级专业技术人员继续教育基地，湖南省人力资源和社会保障厅备案的省直专业技术人员继续教育基地—湖南师范大学主办
